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近年來，由於能源的危機，大家紛紛投入太陽能電池的研究與發展。目前化合物薄膜太陽能電池以銅銦鎵硒為主，但由於成本高昂，故無法普及化，因此需要新的材料來控制成本，因而發展出硫化銅錫鋅與硒化銅錫鋅兩種化合…
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中文摘要 當薄膜沈積於基材上會受到製程參數與晶格常數的不同造成殘留應力的發生，而殘留應力將會影響薄膜之晶格結構與表面粗糙度，且隨著元件之使用環境、溫度、濕度等條件的變化，進而使得薄膜產生與基材剝離的…
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本研究主要以反應性濺鍍來成長NbNx薄膜於銅-矽基材多層膜系統中擴散阻障層失效機制的研究。觀察N2/Ar流量比對NbNx薄膜之沈積速率、N/Nb原子比、結晶結構、電阻率及表面型態之影響。實驗結果顯示…
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本研究開發氧化矽閘極絕緣膜及多晶矽膜之低溫濺鍍沉積技術，以利塑膠基板上薄膜電晶體之製作。此外，我們利用準分子雷射退火技術實現鍺膜之超級橫向成長，並觀察此長晶現象。本研究在室溫下藉由脈衝直流磁控反應性…
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本論文成功使用低溫濺鍍磊晶法成長矽薄膜並且應用於太陽電池元件製作，磊晶矽薄膜的部份在製程溫度為220℃與直流電源功率為100 W的條件下可得到最佳的矽膜品質，其有效復合速率(Recombinatio…
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本論文以直流磁控式濺鍍法實現矽/鍺膜同/異質磊晶，成功地在矽基板上達成矽膜和鍺膜的同異質磊晶成長，以及在鍺基板上之鍺膜同質磊晶。最後並以濺鍍磊晶成長矽膜於矽基板上之方式形成n+-p接面二極體元件。論…
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本論文主要利用純度為99.95%釕靶材，藉由反應式射頻磁控濺鍍系統來研究二氧化釕成長於奈米碳管上之複合物分析，和對於此複合物做初步電容測試探討。利用不同的濺鍍條件，基板成長的溫度不同，可控制晶系結構…
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力，但硬度略低於其他硬膜，實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…